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本文介绍了利用溶胶-凝胶（Sol-gel）法在硅基二氧化硅上制备用于平面光波导的掺铒磷硅酸盐薄膜材料。利用可变入射角椭圆偏振仪(VASE)、X-射线衍射仪（XRD）、X-光电子能谱（XPS）和原子力显微镜(AFM)对所制备薄膜材料样品进行了测试分析。结果表明，本实验制备出表面平整，颗粒度均匀，透光性好，薄膜厚度可变，玻璃态的,用于平面光波导的薄膜材料。