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InGaAs探测器的ICPCVD氮化硅钝化工艺优化
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室,上海 200050
【出 处】
:
第十二届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
:
2017年期
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