【摘 要】
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利用双辉光放电技术以氩气为溅射/放电气体,在不同的温度(700.C、800.C、900.C)下溅射钨靶,在铜为基底上,制备钨铜合金,钨镀层的晶体取向通过XRD来表征,表面形貌通过SEM
【机 构】
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等离子体物理材料实验室北京印刷学院102600
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利用双辉光放电技术以氩气为溅射/放电气体,在不同的温度(700.C、800.C、900.C)下溅射钨靶,在铜为基底上,制备钨铜合金,钨镀层的晶体取向通过XRD来表征,表面形貌通过SEM来观测,通过金相做w/cu合金的截面,然后利用EDS来测量截面的元素分布.此外,对不同温度下制各的W/Cu合金的耐磨性、抗电化学腐蚀能力、机械性能进行了测试.结果显示:温度对实验的影响很大,随着温度的升高,W/Cu合金的膜厚增加,且表面形貌更加致密平滑,合金的性能如:摩擦磨损、抗电化学腐蚀、硬度都得到很大的提高,通过实验证明,利用双辉光技术可以成功制备W/Cu合金.
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