洁净室中的控制用仪器仪表

来源 :第十二届中国国际洁净技术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bb1206
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洁净技术的应用越来越广泛。目前在电子、制药、食品、生物工程、医疗等领域对洁净室的要求也越来越高,它综合了工艺、建筑、装饰、给排水、空气净化、暖通空调及自动化控制测量等各方面的技术。本文从洁净室的角度,谈谈自动化仪表控制与监测技术在洁净室的应用。
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