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本文利用真空比对标准装置在压力1~100 Pa范围内对电容薄膜规倾斜角度测量校准室压力时带来的误差进行了研究。结果表明：压力误差随电容薄膜规倾斜角度增加而线性增加，但随校准室压力变化不明显。在校准室压力为1 Pa，电容薄膜规沿轴向倾斜角度为7.5°时，压力平均误差达到0.172 Pa，对真空度的准确测量有较大影响。