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干涉测量技术以光的波长为度量单位，具有高精度、高灵敏度、和非接触的特点，已成为实现光学元件面形及微形貌，光学系统波像差，光学材料折射率、应力双折射等参数高精密检测的主要手段。
超高精度干涉测量技术研究
【摘 要】
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干涉测量技术以光的波长为度量单位，具有高精度、高灵敏度、和非接触的特点，已成为实现光学元件面形及微形貌，光学系统波像差，光学材料折射率、应力双折射等参数高精密检测的主要手段。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海市嘉定区清河路390号,201800
【出 处】
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全国激光科学技术青年学术交流会
【发表日期】
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2015年3期
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