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本文介绍了我们对正压漏孔校准方法的研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,我们建立了一套改进型的(PΔV/t)漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析.装置校准范围1×10<-4>Pa.m<3>/s~1×10<-6>Pa.m<3>/s,校准装置的最佳校准能力小于4.0﹪(k=2).
正压漏孔校准装置的研制
【摘 要】
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本文介绍了我们对正压漏孔校准方法的研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,我们建立了一套改进型的(PΔV/t)漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析.装置校
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2004年7期
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