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设计了一个2×2的多模干涉.马赫曾德干涉仪型(MMI-MZI)波导热光开关，选用一种可交联的负型光刻胶作为波导芯层，利用光刻版掩模紫外曝光后，通过显影得到所设计的波导结构，制作工艺非常简单。实验结果表明该光开关的开关功率为7.5mW。
低功耗2×2聚合物热光开关的制备
【摘 要】
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设计了一个2×2的多模干涉.马赫曾德干涉仪型(MMI-MZI)波导热光开关，选用一种可交联的负型光刻胶作为波导芯层，利用光刻版掩模紫外曝光后，通过显影得到所设计的波导结构，制作工艺
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 吉林大学电子科学与工程学院,吉林 长春 130012
【出 处】
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第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议
【发表日期】
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2009年期
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