【摘 要】
：
本文采用等离子体辅助金属有机物化学气相沉积法在不同衬底上生长非故意掺杂p型ZnO薄膜.最佳电阻率为12.7 cm,空穴浓度为1.88×1017 cm-3,迁移率达2.6 cm2/V s.二次离子质谱
【机 构】
：
浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027
【出 处】
：
第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
论文部分内容阅读
本文采用等离子体辅助金属有机物化学气相沉积法在不同衬底上生长非故意掺杂p型ZnO薄膜.最佳电阻率为12.7 cm,空穴浓度为1.88×1017 cm-3,迁移率达2.6 cm2/V s.二次离子质谱测试表明薄膜中的氧含量在等离子体生长的ZnO中显著增加.通过变温光致发光谱研究了ZnO薄膜中的受主行为.
其他文献
桡尺骨远端骨折是临床上较为多见的一种骨折.因其骨折断端移位明显;手法整复有一定难度.笔者从1995年-2005年供收治38例此类患者,均采取了分骨、折顶手法复位,分别给予石膏、
自2000～2002年,作者对19例采用小腿内侧交腿皮瓣转移术治疗的小腿开放性骨折并皮缺损病人进行了程序化护理,取得满意效果.本文介绍了其临床资料、治疗方法、治疗结果。
目的:探讨等离子刀在颈椎间盘突出治疗中的应用.方法:C臂X光机引导下准确穿刺病变的椎间隙,置入等离子汽化棒,连接主机,进行消融.结果:48例接受手术病人,采用odom分类系统评
临床上,各种颈椎疾病很多,如:颈椎病、颈椎间盘突出症、颈椎不稳、发育性或退变性颈椎管狭窄症、颈椎后纵韧带钙化症(OPLL)、颈椎黄韧带肥厚或钙化、颈椎骨折脱位、无骨折脱
随着医学的发展,微创脊柱外科成了脊柱外科的一大发展方向.近年来,已经有了许多微创技术用于脊柱外科手术,其技术也在不断地完善和发展.经皮激光椎间盘减压术(PLDD)也属于其
本文采用基于计算流体力学(CFD)的数值计算方法,对自制的生长ZnO的MOCVD(金属有机物化学气相淀积)反应室内的流场进行了三维数值模拟和分析.数值模拟采用有限体积差分方法对
全髋关节置换术失败常带来骨残断骨溶解、骨缺损,致使翻修手术带来极大困难,并且在手术操作工程中,由于需要彻底清除残留骨水泥,或者需要拔出一个生物学固定假体柄,而造成骨
全膝置换术后胫股关节不稳定是导致全膝置换术后膝关节功能障碍的最常见原因之一.当前,因胫股关节不稳定而接受翻修术者约占膝关节翻修术总数的10-20 ％,随着髌骨关节并发症的
本文采用激光分子束外延法在蓝宝石衬底(0001)上生长了高度c轴择优取向的高质量ZnO薄膜,对生长的薄膜在空气中进行900℃退火处理,并对退火前后样品的结晶质量、发光特性进行x
在NH3和O2的混合气氛下,本文采用激光分子束外延法(L-MBE)在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜,XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高的结晶质量和高度的C轴择优取向性,