利用脉冲干涉激光晶化技术制备三维有序的纳米硅晶粒

来源 :第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：oqo235

【摘要】

：

利用准分子脉冲干涉激光晶化技术使非晶硅/非晶氮化硅(a-Si:H/a-SiNX:H)多层膜中的超薄a-Si:H层定域晶化,成功地在超晶格结构的生长平面内定域制备出有序分布的纳米硅(nc-Si)

【作者】

：

黄信凡;王晓伟;王立;马忠元;鲍云;徐骏;陈坤基;

【机构】

：

南京大学固体微结构物理国家重点实验室物理系(南京)

【出处】

：

第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

【发表日期】

：

2001年期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用准分子脉冲干涉激光晶化技术使非晶硅/非晶氮化硅(a-Si:H/a-SiNX:H)多层膜中的超薄a-Si:H层定域晶化,成功地在超晶格结构的生长平面内定域制备出有序分布的纳米硅(nc-Si)结构.同时,用原子力显微镜(AFM)、微区拉曼光谱(Raman)及剖面透射电子显微镜(X-TEM)研究了制备出的纳米硅的微结构.

其他文献

纳滤去除水中内分泌干扰物双酚A和四溴双酚A的研究

用死端过滤法考察纳滤膜Desal5DK处理水中内分泌干扰物双酚A(BPA)和四溴双酚A(TBBPA)的效率,并研究吸附对纳滤截留有机分子的影响.结果表明,纳滤膜Desal5DK对BPA的表观截留率

期刊

纳滤双酚A四溴双酚A吸附截留率

光驻波场操纵锂原子进行纳米结构制作的研究

纳米结构制作是发展纳米科学技术的基础,研究用光操纵原子进行纳米结构制作的新方法,是一个难度大、涉及面广的前沿探索课题.本文首先对光驻波场进行了简单介绍和分析,得到了

会议

光驻波场锂原子操纵纳米结构实验纳米科学技术制作实际应用纳米加工理论新方法运动图形前沿模拟课题基底基础堆积垂直

论城市规划中园林景观设计的运用

近年来，伴随我国城市化进程的快速推进以及人们生活水平的提高，人们对居住环境的要求也在不断提升，所以园林工程建设的数量和规模都有了明显增加。在城市规划设计中，园林景观设计

期刊

城市规划园林景观设计运用

荷电超滤膜对天然有机物去除及膜污染行为的影响

随着水源污染的加剧和水质标准的提高,超滤成为替代饮用水常规处理技术的最佳选择之一.然而,由于超滤膜的截留相对分子质量相对于水中天然有机物(NOM)的相对分子质量较大,导

期刊

荷电超滤膜天然有机物腐殖酸截留率通量膜污染

城乡规划中的生态建筑设计研究

大力推进城乡建设是我国现今城市化建设的主要内容。在我国经济水平的不断提升过程中，人们对于居住、生活的环境也具有了更高的要求。在这种情况下，就需要能够在城乡建设中更加

期刊

城乡规划设计生态建筑设计

ACM综合试验台的研制

涡轮冷却器(ACM)是飞机环境控制系统的核心部件.现在,空气循环制冷设备广泛应用于飞机的制冷,其工作原理是以空气为工质,利用压缩空气在涡轮中绝热膨胀并对外界做功,从而获得

期刊

ACM综合试验台研制Test SystemAirResearch飞机环境控制系统制冷设备压缩空气涡轮冷却器人工制冷空气循环绝热膨胀工作

浅谈如何做好村庄规划建设

村庄实质是我们对农村农民居住点的总称，属于农村广大农民群众生产生活的聚集场所。因城镇化与社会主义新农村建设步伐的加快，村庄规划建设成为备受关注的问题。村庄的规划及建

期刊

村庄规划建设瓶颈建议

航空装备基层级维修中的IETM应用研究

自从航空器作为运输平台或武器平台投入实际使用以来,其飞行性能和装备结构的复杂性就一直不断增加,对维修精度和维修安全性、维修时效性的要求也不断提高.现代空战过程中,航

期刊

航空装备基层维修质量IETM应用研究装备结构运输平台武器平台维修效率空战飞行性能时效性航空器复杂性安全性投入精度结果过程

城市道路路面设计的优化与创新

随着城市化发展进程的不断加快，交通体系建设也逐渐成为城市发展重点规划内容，人们对于公共交通设施的构建也提出了更高的要求，对于本文所讨论的问题来说，道路路面设计工作的展开

期刊

城市道路路面设计优化创新

解析新常态下城市规划的传承与变革

当前的经济发展已经全面进入到新常态，在这一背景下，一方面要充分发挥城市规划的积极作用，另一方面也要积极利用新常态所带来的机遇。城市规划的传承主要目的是为了推动城市正常

期刊

新常态城市规划传承经济发展

利用脉冲干涉激光晶化技术制备三维有序的纳米硅晶粒

与本文相关的学术论文