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本文对光刻用阳离子固化树脂的增韧进行了研究.通过扣合耐受力的测试,可以得到表面缺陷对光刻模型性能的影响.研究发现,当光刻模型的表面较光滑时,可以得到较高的扣合耐受力.另外,本文还对光刻树脂的固化行为和直接影响模型表面光滑程度的因素进行了研究.
光刻环氧树脂的增韧
【摘 要】
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本文对光刻用阳离子固化树脂的增韧进行了研究.通过扣合耐受力的测试,可以得到表面缺陷对光刻模型性能的影响.研究发现,当光刻模型的表面较光滑时,可以得到较高的扣合耐受力.另外,本文还对光刻树脂的固化行为和直接影响模型表面光滑程度的因素进行了研究.
【机 构】
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Tsukuba Research Laboratories,JSR Corporation(Japan)
【出 处】
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第十届亚洲辐射固化国际会议
【发表日期】
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2005年1期
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