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Au-Al键合系统失效对IC器件可靠性的影响
Au-Al键合系统失效对IC器件可靠性的影响
来源 :第7届国际可靠性、维修性、安全性学术会议(The Seventh International Conference on | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuxiguang
【摘 要】
:
本文介绍了Au-Al键合系统的失效机理及其对器件可靠性的影响,并以具体实例说明了Au-Al键合系统生成金铝间化合物和Kirkendall(柯肯德尔)空洞导致器件失效,最后,提出了相应的预
【作 者】
:
林晓玲
郑廷圭
【机 构】
:
电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室信息产业部电子第五研究所,广州,510610,lin_x_l@163.com电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室;信息产业部电子第五研究所,
【出 处】
:
第7届国际可靠性、维修性、安全性学术会议(The Seventh International Conference on
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
Au-Al键合系统
金铝间化合物
Kirkendall空洞
柯肯德尔空洞
失效机理
IC器件可靠性
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本文介绍了Au-Al键合系统的失效机理及其对器件可靠性的影响,并以具体实例说明了Au-Al键合系统生成金铝间化合物和Kirkendall(柯肯德尔)空洞导致器件失效,最后,提出了相应的预防措施。
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