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环境压力在0.1-10 Torr的中等压力等离子体(Meso-plasma)兼具低气压冷等离子体和大气压热等离子体的优点,即具有比较高的等离子体密度和较低气体温度下的高化学反应活性.因此,这种等离子体源有望提供一种新的等离子体材料处理手段1.随着环境压力的降低,电子与重粒子间的能量交换效率会显著降低,从而导致等离子体明显偏离局域热力学平衡状态.