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MS303晶片电阻率测试系统能够测试直径(50-150)mm晶片的电阻率。在测试过程中能够提供实时晶片电阻率读数。为了确认仪器的精确度和可靠性是否能达到预期的使用要求,需要对仪器的技术能力进行周期校准或核查,使机器始终处于受控状态。本文介绍了MS303晶片电阻率测试系统的测试原理及校准程序,并对其测量不确定度进行了分析。