ZnO薄膜结构与压电性能调控及其应用研究

来源 :中国真空学会2012学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aquabluesky
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  压电材料是一类非常重要的功能材料,是制备电声换能器,水声换能器,超声换能器,压力传感器,压电传感器和振荡器,变压器,声表面波器件和体声波器件的关键材料,被广泛应用于电子,信息,机械,能源,国防安全等军用和民用的各领域。目前应用最为广泛的压电材料是含铅的钙钛矿和钛铁矿型压电材料,这类压电材料最致命的缺点是含有大量的铅,铅有剧毒,在生产和使用过程,以及后续的回收处理过程都会对环境造成严重的污染,同时危害人类健康。
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