【摘 要】
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LIGA技术自其发明和公开报道已有几十年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统-MEMS(Micro electromechanical System)加工热潮.经过十几年的努力,LIGA技
【机 构】
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高能物理研究所同步辐射室,北京100049
【出 处】
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2014年全国电火花成形加工技术研讨会
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LIGA技术自其发明和公开报道已有几十年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统-MEMS(Micro electromechanical System)加工热潮.经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1mm以上,是其他任何加工技术所不能够相比的.这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础.该技术的目标是制造模具,用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具.但由于注塑和模压工艺的问题,以及同步辐射光源的普及,更多的LIGA技术采用了直接利用同步辐射进行机械结构零件的生产,即所谓的直接LIGA技术,北京同步辐射LIGA技术就是选用了直接LIGA技术工艺.经过多年的努力,北京同步辐射LIGA技术取得了长足的进步,已在许多领域得到了应用.
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