【摘 要】
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真空弧不仅广泛应用于高电压和高电流的真空开关,而且由于它的高电离度也被广泛应用于薄膜沉积和离子注入.真空弧触发一般可以采用机械触发、高电压触发和激光触发.但是,这些
【出 处】
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'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
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真空弧不仅广泛应用于高电压和高电流的真空开关,而且由于它的高电离度也被广泛应用于薄膜沉积和离子注入.真空弧触发一般可以采用机械触发、高电压触发和激光触发.但是,这些触发方式都需要在阴极表面施加额外的能量.本文阐述了一种新的‘无触发’磁过滤式阴极真实弧等离子体源.它利用阳极和阴极之间的100-200V的低电压来点燃真空弧,不需要额外的触发电极.从阴极表面喷射出的等离子体流通过一个90度的大颗粒过滤弯管引出.30mT的环形磁感应强度足够有效去除等离子体中的大颗粒.该离子源工作于脉冲模式,脉冲宽度为1-5ms,重复频率为1-10Hz.
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