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本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传感器,可以测量微小气压.详细介绍了热传感器测量气压的原理,并通过在真空系统中对所研制的传感器进行测试,研究了在电桥加热模式下,传感器的响应特性及加热电压对其特性的影响。
微桥热传感器测微小气压的研究
【摘 要】
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本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传感器,可以测量微小气压.详细介绍了热传感器
【机 构】
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大连理工大学电子工程系,辽宁,大连,116024大连理工大学微系统与微制造重点实验室,辽宁,大连,116024
【出 处】
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第十一届全国实验力学学术会议
【发表日期】
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2005年7期
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