【摘 要】
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实时监测管路中真空度的真空计,采用电容器原理.但是,每隔固定时间,系统会途经该管路向真空环境瞬时释放压强为100kPa左右的气团,使真空计承受近1000倍的冲击过载,导致真空计
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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实时监测管路中真空度的真空计,采用电容器原理.但是,每隔固定时间,系统会途经该管路向真空环境瞬时释放压强为100kPa左右的气团,使真空计承受近1000倍的冲击过载,导致真空计电容薄膜电极产生塑性变形,发生失效.根据动量定理,在真空计的气体输入端增设阻尼管及一定体积的容腔,延缓气团冲击电容薄膜电极的时间,达到保护电容薄膜电极的目的.通过有限元仿真分析,初步确定阻尼片的排列方式及阻尼孔的分布,并将优化后的真空计在真空测试装置中进行模拟试验,验证结构优化的有效性,并得到阻尼片的最优排列及与之匹配的容腔体积.
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