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薄膜材料在微电子技术和微机械系统领域取得了广泛的应用，其力学性能对材料的服役行为影响很大，己成为当今的一个研究热点。本文以铝膜为研究对象，将数字图像相关方法和扫描云纹法相结合对其力学性能进行了测量。利用光刻方法将铝膜制作于玻璃上，然后将其转移到自行设计的铝拉伸框架上，利用聚焦离子束在试件表面制作1000线/mm的光栅及直径为1Oμm的小孔。将该框架固定于自行设计的薄膜拉伸装置上，利用压电陶瓷进行位移加载，通过力传感器读出力的数值。将该拉伸装置置于扫描电镜中，在低倍下记录加载前及不同载荷下的试件表面的图像，在高倍下记录扫描云纹图像。利用数字图像相关及低倍图像得到薄膜的拉伸曲线进而得到其弹性模量；利用扫描云纹得到薄膜局部应力集中变形情况。