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HiPIMS-the Future of Thin Film Deposition
【机 构】
：
Plasma&CoatingsPhysicsDivision,IFM-MaterialsPhysics,Link(o)pingUniversity,SE-58183Link(o)ping,Sweden
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
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2011年9期
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