论文部分内容阅读
该文采用有限差分方法对高压功率双栅MOSFET(DGMOSFET)的直流特性进行二维数值分析。验证了DGMOSFET的低压MOSFET和VDMOSFET的公共N+浮空区可以近似看成恒定电阻;发现DGMOSFET中VDMOSFET的沟道掺杂的不均匀性,将使VDMOSFET的饱和夹断点移向沟道内部,对此该文做出明确的物理解释;最后,该文给出了DGMOSFET的电流分布图及电势分布图。(本刊录)