基于反射式叠层衍射成像的相位恢复技术

来源 :第十七届全国光学测试学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jy1794
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随着光纤激光器功率要求的不断提高,高功率光纤光栅的物理参数是限制其发展的主要因素。在光纤光栅的刻写过程中,刻写光源的光能分布变化会对光纤光栅的性能带来极大的影响。因此本文搭建了一种基于夏克哈特曼法的紫外光刻光能分布测试系统,用于实时监测刻写光斑的光束质量,从而提高光纤光栅的刻写性能。
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DFB(Distributed Feed Back)型二极管激光器是调制吸收光谱中的核心部件,其输出波长对调制电压的响应特性是极为关键的参数,决定着具体的调制电压幅度和频率的选择,并为波长调制吸收法数据反演提供必要的激光器参数。
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利用COMSOL有限元分析软件,建立了在连续高能激光辐照下熔融石英基片热形变分析模型,并针对基片在不同的夹持方式下的热形变进行了比较分析。研究结果表明,采用四周固定的方式,热形变量是最小的。此外,还利用VirtualLab软件定量分析了熔融石英基片热形变对光束质量的影响。基片的热形变会对光束质量造成影响,激光辐照时间越长,热形变量越大,对光束质量影响越大。
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