论文部分内容阅读
LBO晶体等软脆晶体是全固态激光技术中广泛应用的非线性光学晶体,然而 其软、脆的特点对精密加工和超光滑表面获得是一个挑战。固结磨料抛光技术把 抛光粉固结在抛光垫中,采用不含游离抛光粉的抛光液加工,避免游离抛光粉颗 粒随机分布损伤晶体表面,提高抛光粉的利用率,从而提高加工效率和工件的表 面质量,是高效、高精度晶体加工的一个新的技术手段。 本文介绍固结磨料抛光技术产生的背景及其优势,报告固结磨料抛光技术加 工不同软脆晶体的研究进展,并提出其研究发展趋势。为固结磨料抛光加工新软 脆晶体提供借鉴,为新晶体的产业化应用、批量精密加工需求奠定基础。