纳米级Al<,2>O<,3>孔膜的制备及在其纳米级微孔内电沉积Fe一Co合金

来源 :中国电子学会电镀专业委员会第七届电镀年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xxq0108
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金属铝经阳极氧化后可在其表面形成一层Al<,2>O<,3>膜,使用不同的阳极氧化液,所得到的Al<,2>O<,3>膜的结构形貌迥异,研究表明,在草酸熔液中进行阳极氧化所形成的Al<,2>O<,3>膜中,有许多排列有序且垂直于基体表面的微孔,其直径约为几十个钠米。G.Patermarakis[3]等还做了大量的理论研究工作,为纳米级孔膜的结构特征与阳极氧化条件之间的关系建立了一些数学模型。K.v.Heber[4]和Y.Xu[5]则对纳米级孔膜的形成机理进行过较深入的研究。为了实现在纳米级孔膜内电沉积Fe-Co合金,有必要首先研究纳米级Al<,2>O<,3>孔膜的制备。该文首先采用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对在草酸溶液中的阳极氧化所形成的纳米级孔膜进行了形貌观察,然后进行了在其微孔内电沉积Fe-Co合金的工艺研究,并用X衍射技术分析了纳米级孔膜Fe一Co镀层的晶体结构。
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