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简述了微机电系统近年来研究的概况,其中微传感器成就最突出,技术比较成熟,实用化程度高,有一定的市场占有率,在非传感器方面,在很大程度还是技术推动的新领域,技术难度很大,当今微传感器和策执行器发展的动向是,提高性能;将传感器和执行器制造在一起,甚至将传感器、执行器和微处理吕集成制造在一块芯片上;作成陈列器件,嵌入器件和测控功能部件,还可将它们分布到材料和结构中,实现一定的功能,构成机敏结构,成以微传感器和微执行器为基础的专用集在微型仪器、微化学分析装置、生物分析芯片等。