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多晶硅是信息产业和新能源产业的基础原材料，本文研究了世界多晶硅主流工艺——三氯氢硅氢还原工艺生产过程中副产物四氯化硅综合回收利用途径，通过热力学和动力学计算，确定了热氢化和冷氢化最佳反应条件，借助计算机模拟确定了最佳反应器结构和系统运行条件，运行结果证明，采用冷氢化工艺的单套设备产量大、能耗低，成本优势明显，对现有多晶硅工厂节能技改和新建项目具有重要指导意义。