氢气氛下退火对多晶硅薄膜太阳电池性能的影响

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本文进行了氢气氛下退火对多晶硅薄膜太阳电池钝化效果的研究。结果表明,经过氢退火之后,大部分太阳电池的填充因子FF和效率η都下降了;少数效率增加的电池则呈现出共同的特征,即短路电流Isc和填充因子FF都增加了,但开路电压Voc却略微有些降低。对于氢退火之后效率下降的电池,其Voc也有显著的降低。Voc的下降是由于并联电阻Rsh的减小或暗饱和电流Is的增加造成。换句话说,所使用温度的氢退火不但没有起到任何钝化效果,反而使PN结的漏电变得更加严重。这说明所使用温度的氢退火对太阳电池的钝化效果非常有限。太阳电池性能的改善是通过减小串联电阻Rs实现的,也即氢退火是通过烧结的作用提高了太阳电池的性能。
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