【摘 要】
:
该项研究基于中科院微电子中心深亚微米硅工艺平台,采用了电子束和I线混合光刻加工技术,成功的试制了0.25um SOI NMOS射频器件,阈值电压0.4-0.45伏,沟道导通跨导Gm为195-200m
【出 处】
:
第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
论文部分内容阅读
该项研究基于中科院微电子中心深亚微米硅工艺平台,采用了电子束和I线混合光刻加工技术,成功的试制了0.25um SOI NMOS射频器件,阈值电压0.4-0.45伏,沟道导通跨导Gm为195-200ms/mm,特征频率为17.8GHz,展示了该项加工技术在射频前端集成电路开发上的应用前景.
其他文献
随着西部大开发和西电东送发展战略的实施,我国要兴建一批大型高水头电站,其泄水建筑物泄流流速均达40~50m/s,对抗冲磨混凝土和过流面抗冲耐磨防护材料的性能提出了更高的要求
对混凝土建筑物进行修补,首先是确定建筑物目前的使用状态,恰当地评价建筑物的老化损坏程度,合理地估计其使用寿命,然后是考虑目前的建筑物使用环境对材料和施工的影响以及修
本文以上海市新川沙水闸为例,概述了水闸钢筋混凝土结构、分缝及防渗设施、钢闸门、启闭机及电气线路的质量检测与安全评价.
辛庄山洪桥位于京密引水渠的CH87+122m处,运行了30余年,出现了一定程度的老化,本文通过对现场混凝土质量的检测数据和结构安全复核的计算结果的综合分析,对其进行了安全评估.
某混凝土面板堆石坝位于吉林省境内,为了配合大坝后期蓄水正常运行,并保证大坝的防渗效能,本文对大坝面板混凝土进行了集中检查,检查的主要内容是面板混凝土裂缝的分布情况以
混凝土裂缝是常见的病害,裂缝的出现或是影响结构的耐久性,或是危害结构的安全,降低结构的耐久性,因此需要及时处理.处理裂缝的方法很多,在处理前要进行认真检查,分析裂缝成
山西省万家寨引黄入晋工程是一项大型跨流域引水工程,2002年3月山西省万家寨引黄工程总公司委托中国水利水电科学研究院对3座地面泵站出水压力平洞非钢衬段和出水竖井等工程
本保证桃峪口水库的安全运行,本文对水库溢洪道混凝土建筑物及金属结构进行了全面的检测和安全评价.并针对混凝土的老化病害,提出了修补处理的建议.
天生桥水利枢纽位于陕西省宁强县境内,是一项引嘉(陵江)入汉(江)中型跨流域引水梯级工程,在施工过程中,检查发现拱坝观测廊道上游仅在3~5m高水头压力下产生16处大的漏(射)水
与传统的直写式电子束曝光机相比,高能电子束曝光系统由于减小了入射电子的前向散射,在理论上应该具有更高的分辨率.本文在阐述了高能电子束曝光系统研制必要性的基础上,对其