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电接触润滑剂现已广泛用于各种连接器接触表面上。大量实验结果表明，润滑剂的膜厚与均匀性对防止触点腐蚀、降低摩擦力及减少表面磨损起到重要作用。以前，润滑剂在表面的分布和厚度只能通过染色和称重的方法定性分析。现在我们根据背反射电子信号的强弱观察润滑剂的分布，通过改变扫描电子显微镜的加速电压，粗略计算涧滑剂膜层的厚度。最后根据非接触式三维形貌仪精确测量润滑膜厚度。本文分析比较了这四种方法的优缺点。