【摘 要】
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In this work,we report the parameters in novel plasma source diagnosed by optical emission spectrometry (OES) during a high c-axis orientation ZnO film deposition.The high power impulse magnetron sput
【机 构】
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Lab of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication,Beijing 102600
【出 处】
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13th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technolog
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In this work,we report the parameters in novel plasma source diagnosed by optical emission spectrometry (OES) during a high c-axis orientation ZnO film deposition.The high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) sputtering zinc (Zn) target is assisted by inductively coupled plasma (ICP) to ionize the input O2.As a result,a high c-orientation ZnO crystal is grown.OES reveals the significant increase of atomic oxygen concentration when ICP is switched on.Because the atomic oxygen owns a high active energy by ICP excitation it will react completely with sputtered Zn species to form a high quality film[1].
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