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用脉宽为60fs、波长为800nm的飞秒激光辐照CCD,研究了CCD在飞秒激光作用下的失效问题.实验得到了飞秒激光作用下CCD的失效阈值为4.22×10-3J/cm2.这比纳秒激光作用下CCD的损伤阈值低2-3个量级.之后对该器件进行显微观测,在光敏元上没有发现损伤,但在器件的栅极上发现了明显的激光引起的损伤痕迹.