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文章研制了电校准准分子激光功率探测器,采用高热导率高脉冲能量损伤阈值的SiC陶瓷作为吸收腔体材料,将厚膜技术用于探测器电加热涂层的制作。测试了探测器响应的线性度,并详细分析了探测器的3种传热方式及其对非线性的影响;对SiC陶瓷体和高温热喷涂陶瓷吸收涂层脉冲能量损伤阈值进行了测试,验证了材料热导率和熔点对损伤特性的重要影响。采用积分球系统测量了不同波长下的腔体吸收率。