脉冲偏压电弧离子镀的发展现状及前瞻

来源 :2005’全国真空冶金与表面工程学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jj80022084
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  本文致力于集中探讨脉冲偏压电弧离子镀技术各种表观行为下的深层本质和作用机制,并在此基础上论述其发展走向和取得新进展的可能性。
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