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上世纪50年代半导体技术的出现，拉开了微传感器研究、开发与生产的序幕，但是，传感器市场分散、种类多，长期处于多品种、小批量的制造方式.MEMS技术的出现，使微纳传感器的批量化制造成为可能，尤其是以iPhone和iPad为代表的便携式产品，正在改变人类的生活方式，其中应用的主要产品包括麦克风、陀螺、加速度计、磁场传感器、振荡器等是MEMS产业发展的里程碑式产品.