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激光化学气相沉积法高速沉积取向和取向β-SiC薄膜
【机 构】
:
武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室 日本东北大学金属材料研究所
【出 处】
:
第十九届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
:
2016年8期
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