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六氟化硫（SF6）气体在电弧、电火花和电晕放电的作用下会发生分解，产生二氧化硫（SO2）、四氟化碳（CF4）等分解产物。检测SF6分解产物（可在设备带电状态下进行）是诊断SF6气体绝缘设备内部运行情况的一个强有力手段，据此可判断设备是否故障，并确定故障的具体部位，近年来已有不少成功案例，但判断电气设备潜伏性故障的经验不多。本文总结了广东省74个220kV和500kV全封闭组合电器（GIS）变电站共3770个气室中SF6分解产物的含量，为SF6GIS潜伏性故障及其故障类型判断累积经验。结果显示：SF6GIS中二氧化碳（CO2）、CF4、氟化亚硫酰（SOF2）、氟化硫酰（SO2F2）、十氟化二硫酰（S2OF10）、SO2和硫化氢（H2S）都成偏正态分布，CO2、CF4、SOF2、SO2F2、S2OF10的含量均小于0.1％，SO2的含量均低于3μL/L，H2S的含量均低于1μL/L。500kVGIS设备中SF6分解产物含量低于220kVGIS设备；运行时间越长，设备中SF6分解产物的含量越高。