【摘 要】
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超硬薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度.非本征硬度超硬薄膜其超硬性和力学性能取决于它们的显微结构,本文主要介绍非本征硬度超硬薄膜的研究进展和应用情况.
【机 构】
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北京科技大学材料学院;中国科学院力学研究所;中国科学院兰州化学物理研究所
【出 处】
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第二届表面工程技术产业化学术交流会
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超硬薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度.非本征硬度超硬薄膜其超硬性和力学性能取决于它们的显微结构,本文主要介绍非本征硬度超硬薄膜的研究进展和应用情况.
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