超硬薄膜的研究进展及其产业化

来源 :第二届表面工程技术产业化学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:h762106005
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超硬薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度.非本征硬度超硬薄膜其超硬性和力学性能取决于它们的显微结构,本文主要介绍非本征硬度超硬薄膜的研究进展和应用情况.
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