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三极管的二次击穿是构成其安全工作区(SOA)的重要曲线.文中论述了二次击穿的机理,然后设计了一种具有高雪崩耐量的结构.采用TCAD软件TSUPREM4和MEDICI对器件结构进行仿真设计,对流片样品的动静态参数和雪崩耐量进行测试,测试结果雪崩耐量值达到设计要求.
具有高雪崩耐量的三极管设计
【摘 要】
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三极管的二次击穿是构成其安全工作区(SOA)的重要曲线.文中论述了二次击穿的机理,然后设计了一种具有高雪崩耐量的结构.采用TCAD软件TSUPREM4和MEDICI对器件结构进行仿真设计
【机 构】
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电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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