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本文根据我国微电子技术发展对超净高纯试剂的要求,阐述了国内外超净高纯试剂的现状、应用及制备技术的发展方向.
超净高纯试剂的现状与制备
【摘 要】
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本文根据我国微电子技术发展对超净高纯试剂的要求,阐述了国内外超净高纯试剂的现状、应用及制备技术的发展方向.
【机 构】
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北京科华微电子材料有限公司,北京化学试剂研究所,北京,100022
【出 处】
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2006全国电子化学品发展研讨会
【发表日期】
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2006年6期
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