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电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷，该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力，研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷面密度时的附加静电力以及绝缘层与敏感单元间距对附加静电力的影响。
叉指式微加速度计敏感芯片的辐射效应分析
【摘 要】
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电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷，该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力，研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷
【出 处】
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第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会
【发表日期】
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2008年期
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