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采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜.利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明，在调制周期为19.86nm时，纳米压痕硬度达到43 GPa。
非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜
【摘 要】
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采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜.利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明，在调制周期为19.86nm时，纳米压痕硬度达到43 GPa。
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083 廊坊恒宇工具有限公司，河北廊坊 065000
【出 处】
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2009中国博士后材料与冶金科学大会
【发表日期】
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2009年8期
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