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聚焦离子束在外延生物氮化镓薄膜失配位错研究中的应用
【机 构】
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中国科学院物理研究所北京电子显微镜实验室(北京)
【出 处】
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第十一次全国电子显微学会议
【发表日期】
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2001年期
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