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基于基频和三次谐波的石英谐振式力传感器性能的研究
基于基频和三次谐波的石英谐振式力传感器性能的研究
来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong460
【摘 要】
:
通过基于基频和基于三次谐波的传感器的性能分析,提出了采用三次谐波切角的AT切谐振器,并合理设计晶片及电极参数,可达到对非谐波及低次谐波的抑制作用;证明了基频传感器,尤其是三次
【作 者】
:
王晓红
朱惠忠
【机 构】
:
大学精密仪器与机械学系
【出 处】
:
第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
基频
三次谐波
石英
谐振式力传感器
抑制作用
性能分析
合理设计
电极参数
谐振器
谐波比
证明
切角
晶片
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通过基于基频和基于三次谐波的传感器的性能分析,提出了采用三次谐波切角的AT切谐振器,并合理设计晶片及电极参数,可达到对非谐波及低次谐波的抑制作用;证明了基频传感器,尤其是三次谐波传感器工作于三次谐波比工作于基频时有更优性能。
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