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本文探索了一种电子束电荷沉积剖面的测量方法。根据电荷沉积产生原理，研制了纵向排列的薄片法拉第筒阵列，实验了康铜和铝吸收薄片的电荷沉积，表明相同厚度内铝比康铜靶电荷沉积量小，沉积深度深，铝靶更容易遭到破坏。得到了铝薄靶160μm厚度内的电荷沉积剖面，电荷量先增大，然后减小的沉积趋势。实验研究表明采用纵向排列的薄片法拉第筒阵列测量电荷沉积剖面具有可行性。