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该文介绍了一种双极与Ｐ沟结型场效应管兼容器件工艺，通过版图设计的优化与工艺实验设计优化得到了满足要求的器件。
一种双极与P沟JFET兼容器件
【摘 要】
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该文介绍了一种双极与Ｐ沟结型场效应管兼容器件工艺，通过版图设计的优化与工艺实验设计优化得到了满足要求的器件。
【机 构】
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兵器工业第二一四研究所(蚌埠)
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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