Atomic layer deposition on swelling-induced mesoporous block copolymers for highly porous and robust

来源 :第一届国际ALD应用大会暨第二届中国ALD学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qingfeng112233
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Without extra-heating,Al2O3 films were prepared by atomic layer deposition(ALD)process through a home-made ECR setup.The influences of processing parameters on properties of alumina films were investi