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高功率调制脉冲磁控溅射高性能抗氧化TiAlSiN纳米复合涂层

来源 :2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cjfandhf

【作 者】

：

李玉阁 

【出 处】

：

2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

功率调制 脉冲磁控溅射 高性能 抗氧化 

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