论文部分内容阅读
本文介绍了一种自由梁微机械滤波器的组成及工作原理,采用连续系统的方法来分析该微机械滤波器的谐振器,推导得到了其弯曲振动模态下的谐振频率公式-Euler-Bernoulli方程.然后根据MEMS材料的特性和微系统表面微加工原理设计了一种共振频率为70MHZ的微机械滤波器的工艺,并利用MEMS专业软件Coventor进行仿真分析,仿真结果与计算结果一致,验证了该工艺设计的可行性.