【摘 要】
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本文采用脉冲激光沉积的方法,在钛酸锶(SrTiO)基片上制备了具有有序微裂纹结构的镧钙锰氧(LaCaMnO)薄膜.然后采用离子刻蚀的方法将镧钙锰氧薄膜剥离,则钛酸锶基片上留下了相
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本文采用脉冲激光沉积的方法,在钛酸锶(SrTiO<,3>)基片上制备了具有有序微裂纹结构的镧钙锰氧(La<,0.5>Ca<,0.5>MnO<,3>)薄膜.然后采用离子刻蚀的方法将镧钙锰氧薄膜剥离,则钛酸锶基片上留下了相应的有序微裂纹结构.微裂纹的密度可以在10<,3>~10<,4>mm<,-2>的范围内实现可控,其宽度小于100nm.经过离子刻蚀的钛酸锶基片仍保持良好的表面状况和晶体结构,可再次使用,从而在钛酸锶基片上实现了亚微米有序结构的制备.这一技术在器件制备与物理研究上有着重要的用途.
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